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반도체 및 PKG용 PR Stripper
반도체 제조 및 후공정인 PKG에서 진행되는 PR 공정 후 PR제거를 위한 PR Stripper
Positive PR 및 Negative PR에 각각 적용 되는 제품들을 개발 진행 중
- DMSO Free의 글리콜계 유기용매 Stripper로 공정 안전 및 폐수 발생에 유리함
- 긴 Bath Life을 갖으며, Cu 소재에 대한 Damage가 적어
Cu Bump 또는 Seed 층에 대한 적용 가능
원리
PR Strip
FIRST
Solvent 성분이 PR을 Swelling 시켜 약품을 내부로 침투시킬 수 있게 함
SECOND
유기 알칼리 성분이 Swelling된 PR Chain의 Breaking 역할을 함
THIRD
Breaking된 Chain을 극성 Solvent로 용해시켜 제거
대상 고객
Bump 및 PKG등 후공정 회사를 Target으로 개발 영업 중